Physik Instrumente (PI)線性平臺

U-523PILine®線性平臺

特點：

快速定位

省空間和重量

導(dǎo)向精度高

傳感器分辨率高達10 nm

自鎖，靜止時不發(fā)熱

低噪音運行

精密級線性定位平臺

PILine®工作臺特別適合需要快速精確定位的應(yīng)用。關(guān)閉時，自鎖驅(qū)動器會保持平臺在機械上穩(wěn)定的位置。因此，能量消耗和熱量產(chǎn)生顯著減少。這些特性使電池供電或?qū)崦舾械牡驼伎毡葢?yīng)用受益。軸的位置由編碼器測量，光學(xué)參考開關(guān)可實現(xiàn)可靠的可重復(fù)運動。壓電驅(qū)動原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。

使用增量編碼器進行高精度位置測量

非接觸式光學(xué)編碼器可以高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械游隙或彈性變形對測量沒有影響。

PILine®超聲波壓電馬達

PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動器，該壓電致動器通過一個耦合元件預(yù)加載在可移動的導(dǎo)向流道上。壓電陶瓷執(zhí)行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產(chǎn)生超聲振蕩。致動器的變形導(dǎo)致聯(lián)接元件相對于轉(zhuǎn)輪周期性的對角運動。每個周期產(chǎn)生的進料為幾納米。高頻導(dǎo)致高速。將壓電陶瓷執(zhí)行器預(yù)緊抵在轉(zhuǎn)輪上，可在靜止和關(guān)閉時確保驅(qū)動器自鎖。

應(yīng)用領(lǐng)域

顯微操作，自動化，生物技術(shù)，樣品處理，樣品定位，空間有限的應(yīng)用，10 ^-6hPa的真空應(yīng)用（可選）。

Q-521 Q?Motion®微型線性平臺

特點：

寬度僅21毫米，高度僅10毫米

帶有集成增量編碼器的直接位置測量

編碼器分辨率高達1 nm

小增量運動可達2 nm

帶轉(zhuǎn)接板或支架的多軸系統(tǒng)設(shè)置（可選）

可根據(jù)要求提供 10 ^-6 hPa的真空版本

壓電慣性驅(qū)動

壓電慣性驅(qū)動器是節(jié)省空間且價格合理的基于壓電的驅(qū)動器，具有相對較高的夾持力和幾乎無限的行程范圍。慣性驅(qū)動原理基于單個壓電致動器，該壓電致動器由特殊驅(qū)動器電子設(shè)備提供的修改后的鋸齒電壓進行控制。執(zhí)行器緩慢膨脹并移動流道。由于其慣性，轉(zhuǎn)輪無法跟隨執(zhí)行器的后續(xù)快速收縮，并保持在其位置。驅(qū)動器的高工作頻率為20 kHz，直接作用在轉(zhuǎn)輪上并達到大速度。6毫米/秒

真空

 可根據(jù)要求提供10 ^-6 hPa的真空版本。

直接測量原理

線性位移臺配有非接觸式測量光學(xué)線性編碼器和參考開關(guān)。分辨率為4 nm或1 nm，具體取決于版本。 

應(yīng)用領(lǐng)域

微型裝配，光子學(xué)，光學(xué)對準(zhǔn)，顯微鏡，光束線儀器，半導(dǎo)體技術(shù)，測試

H-811.F2 6軸微型六腳架

特點：

行程范圍為±17毫米/±21°

設(shè)計緊湊

可移動磁性板

高動態(tài)和高精度

可自由編程的虛擬樞軸點

的使用壽命

六自由度的并聯(lián)運動學(xué)設(shè)計使其比串聯(lián)運動學(xué)系統(tǒng)更加緊湊和堅固，動態(tài)范圍更大，電纜沒有移動：更高的可靠性，減少了摩擦

無刷直流電機（BLDC）

無刷直流電動機特別適合于高轉(zhuǎn)速。可以非常精確地控制它們并確保高精度。由于無需滑動觸點，因此它們運行平穩(wěn)，無磨損，因此使用壽命長。

應(yīng)用領(lǐng)域

研究和工業(yè)，微制造，光纖對準(zhǔn)和光學(xué)組件的對準(zhǔn)。

廣泛的軟件包

供貨范圍內(nèi)提供的軟件包允許將系統(tǒng)集成到幾乎所有環(huán)境中。支持所有常見的操作系統(tǒng)，例如Windows，Linux和macOS，以及許多常見的編程語言，包括Python，MATLAB和NI LabVIEW。得益于復(fù)雜的程序示例和軟件工具（如PIMikroMove）的使用，開始集成和生產(chǎn)操作之間的時間大大縮短了。

可移動磁性板

加快您的工作流程。下一個工件可以平行于我們的自動化處理步驟進行準(zhǔn)備。可拆卸磁性板無需工具即可快速拆卸，然后每次都可以準(zhǔn)確地重新組裝。

PI P-611.XZ•P-611.2 XZ和XYZ納米定位器

特點：

緊湊：表面44毫米×44毫米

行程范圍為120 µm×120 µm

分辨率至0.2 nm

特別便宜的系統(tǒng)（機械和控制器）

零間隙，高精度撓曲導(dǎo)向系統(tǒng)

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

也提供線性和Z載物臺，以及XYZ版本

應(yīng)用領(lǐng)域：

干涉儀

顯微鏡檢查

納米定位

生物技術(shù)

測試程序和質(zhì)量保證

光子學(xué)

光纖定位

半導(dǎo)體技術(shù)

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可以在寬溫度范圍內(nèi)工作。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長

獲得專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

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